作者coolbaby6 (coolbaby)
看板NEMS
標題[問題] 請教微影問題
時間Mon Dec 12 17:51:58 2011
請問微影製程中
有MASK ERROR FACTOR(MEF)
常常會提到target bias(nm)
查了無數網站
一直查不到這個到底是什麼意思
請問有大大知道這個是什麼的單位嗎
感激不盡
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◆ From: 111.248.154.2
1F：推 ghosthell:我只知道MDE...最大繞射誤差 但感覺不一樣~ 12/12 22:39