作者coolbaby6 (coolbaby)
看板NEMS
标题[问题] 请教微影问题
时间Mon Dec 12 17:51:58 2011
请问微影制程中
有MASK ERROR FACTOR(MEF)
常常会提到target bias(nm)
查了无数网站
一直查不到这个到底是什麽意思
请问有大大知道这个是什麽的单位吗
感激不尽
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 111.248.154.2
1F：推 ghosthell:我只知道MDE...最大绕射误差 但感觉不一样~ 12/12 22:39