作者alich (阿力取)
看板NEMS
標題[問題] SU-8 on glass
時間Mon Dec 12 16:09:54 2011
不好意思> <
有製程上的問題想請教各位學長姊，
是關於在玻璃基板上做SU-8的pattern，SU-8在玻璃上的貼附性的問題
今天去試做了，想用SU-8 2005做一個厚度5um的結構，
結果顯影出來好像SU-8剝離了? 整個pattern變的爛爛的QQ
想請問學長姊可能是哪裡出了錯，或是有什麼辦法改善這個問題呢?
我的process如下:
去水烘烤120度 10min
spin coating 500rpm 10sec
4000rpm 30sec
soft bake 95度 2min
曝光40秒
PEB 95度 2min
顯影1min
謝謝你們:)
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.187.87
1F：→ honna:表面不乾淨，附著差/顯影過度/曝光能量不足(check燈源功率) 12/12 17:35
2F：推 oreoctrl:雖然不知道你曝光機是幾W的~但感覺5um 40s還是太多了 12/12 23:09
3F：推 TreeMan:也可以試看看先spin HMDS 12/13 01:34
4F：→ honna:HMDS對SU8沒有幫助喔，還可能會讓附著變弱 12/13 10:02
5F：→ mcgradychung:我記得SU8的SOP有說明 要提高附著力要先SPM清洗過 12/13 12:32
6F：→ mcgradychung:應該就是去除表面髒污並使表面氧化(類似氧電漿處理) 12/13 12:32
7F：推 jam46:確認一下汞燈功率,40秒感覺有點多...玻璃表面可以先酸洗試試 01/04 17:47