作者alich (阿力取)
看板NEMS
标题[问题] SU-8 on glass
时间Mon Dec 12 16:09:54 2011
不好意思> <
有制程上的问题想请教各位学长姊，
是关於在玻璃基板上做SU-8的pattern，SU-8在玻璃上的贴附性的问题
今天去试做了，想用SU-8 2005做一个厚度5um的结构，
结果显影出来好像SU-8剥离了? 整个pattern变的烂烂的QQ
想请问学长姊可能是哪里出了错，或是有什麽办法改善这个问题呢?
我的process如下:
去水烘烤120度 10min
spin coating 500rpm 10sec
4000rpm 30sec
soft bake 95度 2min
曝光40秒
PEB 95度 2min
显影1min
谢谢你们:)
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.187.87
1F：→ honna:表面不乾净，附着差/显影过度/曝光能量不足(check灯源功率) 12/12 17:35
2F：推 oreoctrl:虽然不知道你曝光机是几W的~但感觉5um 40s还是太多了 12/12 23:09
3F：推 TreeMan:也可以试看看先spin HMDS 12/13 01:34
4F：→ honna:HMDS对SU8没有帮助喔，还可能会让附着变弱 12/13 10:02
5F：→ mcgradychung:我记得SU8的SOP有说明 要提高附着力要先SPM清洗过 12/13 12:32
6F：→ mcgradychung:应该就是去除表面脏污并使表面氧化(类似氧电浆处理) 12/13 12:32
7F：推 jam46:确认一下汞灯功率,40秒感觉有点多...玻璃表面可以先酸洗试试 01/04 17:47