作者scorpiom6 (大肚瑜)
看板NEMS
標題[問題] 負光阻.光阻廠商.鍍金lift-off
時間Thu Dec 8 18:22:16 2011
想請問一下各位光阻都用哪些廠牌
我們實驗室有在用AZ和富士的光阻
想尋找適合的光阻來做under-cut~
因為鍍金要lift-off，所以要做光阻的under-cut
但是在疊光阻上出了問題，互溶疊不上去，高度不夠，under-cut的程度也不夠，
想請問各位鍍金lift-off的光阻都怎麼做？
還有學長問了廠商lift-off的事，聽說有專用的負光阻，不用疊高就可做到～
只是現在也還沒有下文～有哪位的實驗室有做過的嗎？
謝謝！
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◆ From: 140.117.56.37
※ 編輯: scorpiom6 來自: 140.117.56.37 (12/08 18:23)
1F：推 sky008888:AZ有賣,找LOF系列光阻,不過原PO需要的光阻厚度是多少? 12/20 12:23
2F：→ sky008888:lift-off用正光阻也可以做,只是光阻厚度要高一點 12/20 12:24
3F：→ scorpiom6:厚度大概要3um以上~不過應該可以靠轉速降低來增高 12/20 14:36
4F：→ scorpiom6:我們正光阻就是疊不高~都會互溶@@ 12/20 14:36
5F：推 sky008888:用az4620就可以，轉速要試一下,我試過5umoK 01/10 23:48
6F：→ scorpiom6:4620是要反轉成負光阻嗎? 01/11 00:06
7F：推 sky008888:不用,只是鍍金的厚度不要太厚,約1um左右,lift-off用超 01/11 20:30
8F：→ sky008888:音波震盪器震盪2min,很好lift-off. 01/11 20:31