作者scorpiom6 (大肚瑜)
看板NEMS
标题[问题] 负光阻.光阻厂商.镀金lift-off
时间Thu Dec 8 18:22:16 2011
想请问一下各位光阻都用哪些厂牌
我们实验室有在用AZ和富士的光阻
想寻找适合的光阻来做under-cut~
因为镀金要lift-off，所以要做光阻的under-cut
但是在叠光阻上出了问题，互溶叠不上去，高度不够，under-cut的程度也不够，
想请问各位镀金lift-off的光阻都怎麽做？
还有学长问了厂商lift-off的事，听说有专用的负光阻，不用叠高就可做到～
只是现在也还没有下文～有哪位的实验室有做过的吗？
谢谢！
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.56.37
※ 编辑: scorpiom6 来自: 140.117.56.37 (12/08 18:23)
1F：推 sky008888:AZ有卖,找LOF系列光阻,不过原PO需要的光阻厚度是多少? 12/20 12:23
2F：→ sky008888:lift-off用正光阻也可以做,只是光阻厚度要高一点 12/20 12:24
3F：→ scorpiom6:厚度大概要3um以上~不过应该可以靠转速降低来增高 12/20 14:36
4F：→ scorpiom6:我们正光阻就是叠不高~都会互溶@@ 12/20 14:36
5F：推 sky008888:用az4620就可以，转速要试一下,我试过5umoK 01/10 23:48
6F：→ scorpiom6:4620是要反转成负光阻吗? 01/11 00:06
7F：推 sky008888:不用,只是镀金的厚度不要太厚,约1um左右,lift-off用超 01/11 20:30
8F：→ sky008888:音波震荡器震荡2min,很好lift-off. 01/11 20:31