作者questing (question)
看板NEMS
標題[問題] Wet Bench HNA etching Si
時間Thu Dec 1 09:08:43 2011
最近有自己調配HNA 這種混合酸, 會等向etching Si
文獻也說SiNx 是很好的mask...
不知各位大大有經驗的, 我400nm 的SiNx浸不到 < 1min就整個滅掉了
>"<... Si 根本吃不深...
是不是還有那要注意的 @@??
Thanks everyone
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 111.243.151.124
1F：→ mcgradychung:SiNx是指PE的嗎? 那擋不住正常... 12/01 15:23
2F：推 astushi:印象中好向爐管高溫nitridation出來的會比較強健?聽說啦XD 12/01 22:04
3F：→ mcgradychung:用LP的阿 可較上述厚 品質也強健 12/01 22:51
4F：推 astushi:了解 12/02 11:22
5F：推 tingyu1027:好像是ㄛ..爐管可能會比較好~~ 12/02 12:27