作者questing (question)
看板NEMS
标题[问题] Wet Bench HNA etching Si
时间Thu Dec 1 09:08:43 2011
最近有自己调配HNA 这种混合酸, 会等向etching Si
文献也说SiNx 是很好的mask...
不知各位大大有经验的, 我400nm 的SiNx浸不到 < 1min就整个灭掉了
>"<... Si 根本吃不深...
是不是还有那要注意的 @@??
Thanks everyone
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 111.243.151.124
1F：→ mcgradychung:SiNx是指PE的吗? 那挡不住正常... 12/01 15:23
2F：推 astushi:印象中好向炉管高温nitridation出来的会比较强健?听说啦XD 12/01 22:04
3F：→ mcgradychung:用LP的阿 可较上述厚 品质也强健 12/01 22:51
4F：推 astushi:了解 12/02 11:22
5F：推 tingyu1027:好像是ㄛ..炉管可能会比较好~~ 12/02 12:27