作者NCsofa (阿勳)
看板NEMS
標題[問題] 蝕刻鋁(掏空)，不蝕刻"鉻金"合金之溶液
時間Wed Nov 30 19:12:18 2011
想問一下有關於"掏空鋁"的蝕刻液
我是用鋁當犧牲層來製作微米懸橋之結構
掏空是元件的最後一個步驟
其中
電極使用的是 金鉻合金(Au-98%:Cr-2%) 厚度為 70nm
支撐層為Si3N4 厚度為 700nm
犧牲層為鋁 厚度為 2um
結構大概如下:
[AuCr-70nm]
[Si3N4-700nm]
[ 鋁 Al-2um ]
掏空液 配方為 雙氧水 + 鹽酸 (1:1)
因為之前原本電極是 金銅合金
故在掏空上並不會有問題，如今電極換成金鉻合金之後
發現此掏空液會將電極部分的蝕刻掉，導致有些電極無法量得電阻
剛爬文發現，鹽酸在經過鋁的催化之後會對鉻有反應
故想問一下有沒有甚麼其他可以 掏空鋁 的方法 ，不過又不會太強烈導致結構崩塌
狀況出現。
感謝各位解惑 ~~~ 又快要繼續延畢了 >"<
麻煩救救小弟吧~ orz
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.109.103.227
1F：推 astushi:有試過鋁酸嘛? 12/01 22:06
2F：→ NCsofa:剛查了一下，有看到氫氧化鋁跟草酸兩種東西，請問是哪個呢? 12/02 01:21
3F：→ NCsofa:另外，要怎麼使用跟製作呢? 感謝回覆^^ 12/02 01:22
4F：→ astushi:抱歉，沒說清楚...鋁酸是水醋磷硝1:4:4:1，以前吃鋁都用這 12/02 11:23
5F：→ astushi:個，但是磷酸硝酸對氮化物也有一定的蝕刻能力，給你參考 12/02 11:24
6F：→ astushi:蝕刻時後不要用太高溫，大約50度鋁蝕刻率不會太高 12/02 11:26
7F：→ NCsofa:想問一下，目前打算用這個方法試了，但是泡完鋁酸之後因為 12/02 23:04
8F：→ NCsofa:不行用震洗的方式清洗基板只能以曬乾的方式，但是我泡了 12/02 23:05
9F：→ NCsofa:DI water ， 丙酮 以及甲醇之後 上面還是會有殘留的液體， 12/02 23:06
10F：→ NCsofa:請問有方法不用震洗的方式泡乾淨嗎? 12/02 23:06
11F：推 astushi:請問你已經試了嗎??是怎麼知道上面有殘留呢?? 12/03 00:29
12F：→ NCsofa:我剛試了一片，發現吃的速度滿快的 不過我的金鉻電極有脫 12/03 01:16
13F：→ NCsofa:落的現象，不太確定原因，我剛剛又放了一片 想看明天情況如 12/03 01:17
14F：→ NCsofa:何，後來我泡丙酮久一點OK了，應該是因為時間不夠久~~ 12/03 01:18
15F：→ NCsofa:今天又丟了一片，放了12個小時左右~去看OM 金鉻被蝕刻的很 12/03 19:19
16F：→ NCsofa:嚴重，不知道是不是因為含有硝酸成分的關係~? 12/03 19:19
※ 編輯: NCsofa 來自: 140.109.103.227 (12/03 19:21)
17F：推 astushi:我之前蝕刻率，250nm只吃一分鐘左右，在60多度的時後，12h 12/04 16:37
18F：→ astushi:太久了= = 12/04 16:37