作者NCsofa (阿勳)
看板NEMS
标题[问题] 蚀刻铝(掏空)，不蚀刻"铬金"合金之溶液
时间Wed Nov 30 19:12:18 2011
想问一下有关於"掏空铝"的蚀刻液
我是用铝当牺牲层来制作微米悬桥之结构
掏空是元件的最後一个步骤
其中
电极使用的是 金铬合金(Au-98%:Cr-2%) 厚度为 70nm
支撑层为Si3N4 厚度为 700nm
牺牲层为铝 厚度为 2um
结构大概如下:
[AuCr-70nm]
[Si3N4-700nm]
[ 铝 Al-2um ]
掏空液 配方为 双氧水 + 盐酸 (1:1)
因为之前原本电极是 金铜合金
故在掏空上并不会有问题，如今电极换成金铬合金之後
发现此掏空液会将电极部分的蚀刻掉，导致有些电极无法量得电阻
刚爬文发现，盐酸在经过铝的催化之後会对铬有反应
故想问一下有没有甚麽其他可以 掏空铝 的方法 ，不过又不会太强烈导致结构崩塌
状况出现。
感谢各位解惑 ~~~ 又快要继续延毕了 >"<
麻烦救救小弟吧~ orz
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.109.103.227
1F：推 astushi:有试过铝酸嘛? 12/01 22:06
2F：→ NCsofa:刚查了一下，有看到氢氧化铝跟草酸两种东西，请问是哪个呢? 12/02 01:21
3F：→ NCsofa:另外，要怎麽使用跟制作呢? 感谢回覆^^ 12/02 01:22
4F：→ astushi:抱歉，没说清楚...铝酸是水醋磷硝1:4:4:1，以前吃铝都用这 12/02 11:23
5F：→ astushi:个，但是磷酸硝酸对氮化物也有一定的蚀刻能力，给你参考 12/02 11:24
6F：→ astushi:蚀刻时後不要用太高温，大约50度铝蚀刻率不会太高 12/02 11:26
7F：→ NCsofa:想问一下，目前打算用这个方法试了，但是泡完铝酸之後因为 12/02 23:04
8F：→ NCsofa:不行用震洗的方式清洗基板只能以晒乾的方式，但是我泡了 12/02 23:05
9F：→ NCsofa:DI water ， 丙酮 以及甲醇之後 上面还是会有残留的液体， 12/02 23:06
10F：→ NCsofa:请问有方法不用震洗的方式泡乾净吗? 12/02 23:06
11F：推 astushi:请问你已经试了吗??是怎麽知道上面有残留呢?? 12/03 00:29
12F：→ NCsofa:我刚试了一片，发现吃的速度满快的 不过我的金铬电极有脱 12/03 01:16
13F：→ NCsofa:落的现象，不太确定原因，我刚刚又放了一片 想看明天情况如 12/03 01:17
14F：→ NCsofa:何，後来我泡丙酮久一点OK了，应该是因为时间不够久~~ 12/03 01:18
15F：→ NCsofa:今天又丢了一片，放了12个小时左右~去看OM 金铬被蚀刻的很 12/03 19:19
16F：→ NCsofa:严重，不知道是不是因为含有硝酸成分的关系~? 12/03 19:19
※ 编辑: NCsofa 来自: 140.109.103.227 (12/03 19:21)
17F：推 astushi:我之前蚀刻率，250nm只吃一分钟左右，在60多度的时後，12h 12/04 16:37
18F：→ astushi:太久了= = 12/04 16:37