作者achieveman (暫無)
看板NEMS
標題[問題] 求救!!沉積二氧化矽的方法
時間Thu Oct 13 22:42:35 2011
小弟目前有個樣本,上面已經電鑄銅膜了,計畫是要再沉積2.5um厚的二氧化矽
當介電層,因為有金屬,所以CVD的方法都不能使用.原本計畫要用RF SPUTTER
來濺鍍,無奈北微最近因為停電和機台故障等因素,這個製程已經拖了一個月多
還沒完成,而且還會這樣持續下去.時間上已經嚴重DELAY了,所以求救於板上大大,
哪裡可以代工這製程?請各位救我了,小弟萬分感激...
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.38.245
1F：推 Jinuse:SOG? 10/13 23:09
2F：推 s75287:喔 快遞來UCLA我幫你鍍阿....sputter還是PECVD我都可以.XD 10/14 02:29
3F：推 s75287:如果要介電層 可以換其他材料阿...spin coat Cytop不錯 10/14 02:32
4F：→ achieveman:鍍完二氧化矽還要再電鑄銅...所以... 10/14 09:47
5F：推 s75287:好吧....你加油 畢業缺題目找我..XD你的碩士論文很有搞頭 10/14 14:34
6F：推 wan109210:2.5 micron....SOG+1 10/14 17:28
7F：→ achieveman:請問一下SOG是指WAFER還是只技術?我第一次聽到這名詞! 10/16 10:45
8F：推 SkyLark2001:Spin-on-Glass 只是SOG可以到2.5 microns那麼厚嗎? 10/16 15:12