作者achieveman (暂无)
看板NEMS
标题[问题] 求救!!沉积二氧化矽的方法
时间Thu Oct 13 22:42:35 2011
小弟目前有个样本,上面已经电铸铜膜了,计画是要再沉积2.5um厚的二氧化矽
当介电层,因为有金属,所以CVD的方法都不能使用.原本计画要用RF SPUTTER
来溅镀,无奈北微最近因为停电和机台故障等因素,这个制程已经拖了一个月多
还没完成,而且还会这样持续下去.时间上已经严重DELAY了,所以求救於板上大大,
哪里可以代工这制程?请各位救我了,小弟万分感激...
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◆ From: 140.112.38.245
1F：推 Jinuse:SOG? 10/13 23:09
2F：推 s75287:喔 快递来UCLA我帮你镀阿....sputter还是PECVD我都可以.XD 10/14 02:29
3F：推 s75287:如果要介电层 可以换其他材料阿...spin coat Cytop不错 10/14 02:32
4F：→ achieveman:镀完二氧化矽还要再电铸铜...所以... 10/14 09:47
5F：推 s75287:好吧....你加油 毕业缺题目找我..XD你的硕士论文很有搞头 10/14 14:34
6F：推 wan109210:2.5 micron....SOG+1 10/14 17:28
7F：→ achieveman:请问一下SOG是指WAFER还是只技术?我第一次听到这名词! 10/16 10:45
8F：推 SkyLark2001:Spin-on-Glass 只是SOG可以到2.5 microns那麽厚吗? 10/16 15:12