作者jeffdon2 (kkk)
看板NEMS
標題[問題] JSR 151N曝光顯影後圖形表面變得粗糙
時間Thu Sep 15 23:06:36 2011
最近在嘗試使用JSR 151N來定義流道圖形並且加熱接合的動作，可是曝光顯影後
卻發現光阻的表面變成霧面，更詭異的是霧面的圖形是只有在被乳膠光罩覆蓋的區域
出現，其他沒被光罩覆蓋但是有曝光的區域都沒有這情形，不知道有用過JSR 151N
的人是否有相同的情形?
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