作者jeffdon2 (kkk)
看板NEMS
标题[问题] JSR 151N曝光显影後图形表面变得粗糙
时间Thu Sep 15 23:06:36 2011
最近在尝试使用JSR 151N来定义流道图形并且加热接合的动作，可是曝光显影後
却发现光阻的表面变成雾面，更诡异的是雾面的图形是只有在被乳胶光罩覆盖的区域
出现，其他没被光罩覆盖但是有曝光的区域都没有这情形，不知道有用过JSR 151N
的人是否有相同的情形?
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