作者sai77715 (賴打)
看板NEMS
標題[問題] 313nm 的曝光機
時間Fri Aug 19 22:04:32 2011
因為做結構上的需要
有看到文獻使用一般365nm以下的曝光機
也就是波長313nm以下的曝光機
查了一陣子查不到相關資訊
不知道有沒有人知道哪裡有這種機器可以借用?
感謝您
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.4.186
1F：推 Zoma:MJB4 可以開320nm或405nm~ 08/20 11:40
2F：推 pttresident:新竹NDL的I-Line要做到0.35um應該ok 08/20 11:59
3F：→ sai77715:嗯嗯 謝謝~ 08/24 21:16
※ 編輯: sai77715 來自: 140.112.17.181 (08/24 21:23)