作者sai77715 (赖打)
看板NEMS
标题[问题] 313nm 的曝光机
时间Fri Aug 19 22:04:32 2011
因为做结构上的需要
有看到文献使用一般365nm以下的曝光机
也就是波长313nm以下的曝光机
查了一阵子查不到相关资讯
不知道有没有人知道哪里有这种机器可以借用?
感谢您
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.4.186
1F：推 Zoma:MJB4 可以开320nm或405nm~ 08/20 11:40
2F：推 pttresident:新竹NDL的I-Line要做到0.35um应该ok 08/20 11:59
3F：→ sai77715:嗯嗯 谢谢~ 08/24 21:16
※ 编辑: sai77715 来自: 140.112.17.181 (08/24 21:23)