作者exty (也爺!!)
看板NEMS
標題[問題] PDMS與PDMS接合的參數設定
時間Fri Jun 24 17:36:51 2011
目前研究在做雙層微管道 上下兩層都是PDMS
所以打算用氧電漿將PDMS接合起來
我的方法是
1.將上下兩層先打氧電漿 2.打完後在中間加甲醇 3.在顯微鏡下對準上下層微管道
4.將對準好的微管道放在hotplate上烤乾
我用的氧電漿機是樂利士的PCD150
設定的參數是之前學長姊留下來的:
1.抽真空至50mtorr 2.加氧氣至200~220mtorr 3.電量設定45~50w維持90秒
結果發現無法接合 一撕就會分開 重試了好幾次也是如此
請問哪裡出錯了嗎??
請問各位前輩有這樣的經驗嘛?? 麻煩板上前輩指點,謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.202.96
1F：推 bookway:氣泡問題? 要把氣泡擠出來 還有打氧電漿前可先用乙醇清洗 06/24 19:19
2F：→ exty:氣泡是指甲醇的氣泡嘛?? 06/24 19:31
3F：推 bookway:黏合時產生的氣泡 06/25 13:06
4F：→ exty:沒看到氣泡耶 倒是烤乾甲醇的過程中 PDMS很容易移位 所以我 06/26 10:31
5F：→ exty:是把PDMS放在烤盤上加熱幾秒後 再放到顯微鏡上對準 重複幾 06/26 10:33
6F：→ exty:次這樣的步驟 直到PDMS位置不會再改變 06/26 10:34
7F：→ exty:(因為甲醇在蒸發的過程中 真的很容易使PDMS產生滑動而移位) 06/26 10:36
8F：→ exty:不知道上面這個步驟會不會產生影響?? 06/26 10:36