作者exty (也爷!!)
看板NEMS
标题[问题] PDMS与PDMS接合的参数设定
时间Fri Jun 24 17:36:51 2011
目前研究在做双层微管道 上下两层都是PDMS
所以打算用氧电浆将PDMS接合起来
我的方法是
1.将上下两层先打氧电浆 2.打完後在中间加甲醇 3.在显微镜下对准上下层微管道
4.将对准好的微管道放在hotplate上烤乾
我用的氧电浆机是乐利士的PCD150
设定的参数是之前学长姊留下来的:
1.抽真空至50mtorr 2.加氧气至200~220mtorr 3.电量设定45~50w维持90秒
结果发现无法接合 一撕就会分开 重试了好几次也是如此
请问哪里出错了吗??
请问各位前辈有这样的经验嘛?? 麻烦板上前辈指点,谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.202.96
1F：推 bookway:气泡问题? 要把气泡挤出来 还有打氧电浆前可先用乙醇清洗 06/24 19:19
2F：→ exty:气泡是指甲醇的气泡嘛?? 06/24 19:31
3F：推 bookway:黏合时产生的气泡 06/25 13:06
4F：→ exty:没看到气泡耶 倒是烤乾甲醇的过程中 PDMS很容易移位 所以我 06/26 10:31
5F：→ exty:是把PDMS放在烤盘上加热几秒後 再放到显微镜上对准 重复几 06/26 10:33
6F：→ exty:次这样的步骤 直到PDMS位置不会再改变 06/26 10:34
7F：→ exty:(因为甲醇在蒸发的过程中 真的很容易使PDMS产生滑动而移位) 06/26 10:36
8F：→ exty:不知道上面这个步骤会不会产生影响?? 06/26 10:36