作者oruchi (炙熱之夏)
看板NEMS
標題[問題] 光阻塗佈如何抓參數？
時間Wed May 11 22:30:27 2011
手上有一台spin coater與一支光阻劑，光阻劑為日本某家不知名廠商所提供，所取得
的光阻劑data並未附上轉速、時間與膜厚的關係表，想請教板上的各位若是手上拿到一
支很陌生的光阻劑大家要如何去抓轉速與時間參數？
目前狀況是spin coater是新買的，我之前也未做過該機台相關實驗，上手更沒有任何
參數，該支光阻劑後來研究了一下，發現是主劑加上稀釋劑調和而成，在旋轉過程中
稀釋劑會揮發，因此不知道該如何是好，希望有經驗者能提供一點抓參數的訣竅、感謝！
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.42.92.24
1F：推 paullai:google或翻看看paper? 05/11 22:48
2F：→ paullai:如果要做實驗可以先找看看確定的光阻 來驗證spin coater 05/11 22:48
3F：→ paullai:驗證後 再來測這隻光阻劑~ 05/11 22:48
4F：→ paullai:看轉速vs膜厚、曝光時間、顯影時間 05/11 22:50
5F：→ paullai:還有軟烤硬烤是否需要&時間約為多少較佳 05/11 22:50
6F：→ oruchi:這之光阻劑能google的資料都找過了，並無相關資料 05/11 22:58
7F：→ oruchi:至於驗證的步驟、基於某些原因無法實現 >"< 05/11 22:59
8F：→ oruchi:另外、這之光阻劑是UV curing的，不知道對於找參數有無影響 05/11 22:59
9F：推 spp100:coat完烤乾 破片 SEM 照一下要什麼有甚麼 !! 05/12 00:01