作者oruchi (炙热之夏)
看板NEMS
标题[问题] 光阻涂布如何抓参数？
时间Wed May 11 22:30:27 2011
手上有一台spin coater与一支光阻剂，光阻剂为日本某家不知名厂商所提供，所取得
的光阻剂data并未附上转速、时间与膜厚的关系表，想请教板上的各位若是手上拿到一
支很陌生的光阻剂大家要如何去抓转速与时间参数？
目前状况是spin coater是新买的，我之前也未做过该机台相关实验，上手更没有任何
参数，该支光阻剂後来研究了一下，发现是主剂加上稀释剂调和而成，在旋转过程中
稀释剂会挥发，因此不知道该如何是好，希望有经验者能提供一点抓参数的诀窍、感谢！
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 114.42.92.24
1F：推 paullai:google或翻看看paper? 05/11 22:48
2F：→ paullai:如果要做实验可以先找看看确定的光阻 来验证spin coater 05/11 22:48
3F：→ paullai:验证後 再来测这只光阻剂~ 05/11 22:48
4F：→ paullai:看转速vs膜厚、曝光时间、显影时间 05/11 22:50
5F：→ paullai:还有软烤硬烤是否需要&时间约为多少较佳 05/11 22:50
6F：→ oruchi:这之光阻剂能google的资料都找过了，并无相关资料 05/11 22:58
7F：→ oruchi:至於验证的步骤、基於某些原因无法实现 >"< 05/11 22:59
8F：→ oruchi:另外、这之光阻剂是UV curing的，不知道对於找参数有无影响 05/11 22:59
9F：推 spp100:coat完烤乾 破片 SEM 照一下要什麽有甚麽 !! 05/12 00:01