作者Zoma (喔喔喔~~~)
看板NEMS
標題Re: [問題] 請問2um的黃光顯影和曝光
時間Thu Apr 21 14:28:55 2011
我用的光阻跟你不一樣...但或許可以提供經驗給你參考
我光阻是使用LOR 5B+S1813...顯影液是MF319
S1813至少可以作到0.7um...但undercut不夠...不好lift off
因此需要LOR 5B來作undercut...而LOR undercut的速度和軟烤溫度有關
我們以前是作5um以上...但後來作2um的lift off也是遇到了這個問題
後來是利用調整軟烤溫度來達成這個目的...而調了溫度後顯影時間也會改變
不過曝光強度和時間倒是不需要改就是...雖然是不同光阻...
但我想道理應該差不多...我覺得可能是要調整光阻塗佈和軟烤的參數...
有時候data sheet都會提到...建議可以參考一下原廠data sheet...
此外...我們老師說...他之前用PMGI和S1813可以作到CD 0.5um...
不過我是做不到就是了~ㄎㄎ
※ 引述《qqappl (apple)》之銘言：
: 大家好，想請教一點顯影和曝光的問題
: 我是用光阻EPG 510，顯影液EPG 1000，機台的曝光強度2mj/cm^2*s，功率是262.5
: 接觸式單面曝光機
: 我曝線寬10um的光罩時是曝光時間90秒，顯影時間~10秒，
: 但是這在線寬2um下會過曝(?!看OM下) 但是不確定是不是顯影時間過長的關係
: 除光罩不同，旋塗光阻和軟烤的參數都一樣
: 試過曝光時間不變，顯影到5秒都還是一樣....
: 但是如果曝光時間不夠不是就一切免談了嗎?(無法用顯影顯久一點補足)
: 而且我的解析度要到2um....
: 先謝謝看完的版友:)
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.49.136
※ 編輯: Zoma 來自: 140.112.49.136 (04/21 14:29)
1F：推 qqappl:謝謝回答:) 可以請問你們是調整軟烤大約幾度嗎? 我是90度 04/21 20:34
2F：→ qqappl:軟烤時間90秒，data sheet 在跟廠商要XD 04/21 20:35
3F：→ Zoma:參數因為是試出來的~就不方便說囉~~ 04/21 21:58
5F：→ Zoma:我稍微看了一下~你的曝光量是180mj...似乎大原廠不少喔~ 04/21 21:59
6F：→ Zoma:btw...有時候2um線寬加上undercut...比較差的顯微鏡 04/21 22:00
7F：→ Zoma:看起來好像合再一起~但其實可能沒有~我們的就是這樣~ 04/21 22:01
8F：→ Zoma:真的鍍金屬又lift off後才發現是顯微鏡太差~ 04/21 22:01