作者qqappl (apple)
看板NEMS
標題[問題] 請問2um的黃光顯影和曝光
時間Thu Apr 21 09:54:42 2011
大家好，想請教一點顯影和曝光的問題
我是用光阻EPG 510，顯影液EPG 1000，機台的曝光強度2mj/cm^2*s，功率是262.5
接觸式單面曝光機
我曝線寬10um的光罩時是曝光時間90秒，顯影時間~10秒，
但是這在線寬2um下會過曝(?!看OM下) 但是不確定是不是顯影時間過長的關係
除光罩不同，旋塗光阻和軟烤的參數都一樣
試過曝光時間不變，顯影到5秒都還是一樣....
但是如果曝光時間不夠不是就一切免談了嗎?(無法用顯影顯久一點補足)
而且我的解析度要到2um....
先謝謝看完的版友:)
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◆ From: 140.114.12.56
1F：→ xcent:試試軟烤100度90秒，曝光30秒，顯影30秒左右去調看看 04/24 11:28