作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
標題Re: [問題] SU8用spray coater噴上去
時間Mon Mar 28 06:54:20 2011
※ 引述《qscft (qscft)》之銘言：
: 請問有人有用spray coater噴SU8 2005的經驗嗎
: 因為使用SU8噴上去後，平整度整個很差呈現顆粒狀
: 想請問有人有相關的經驗嗎
: 因為上網查，大多是用spin的方式
: 謝謝大家
雖然推文裡面有提到可能是噴出的時候凝結，但我比較想不透為什麼會這樣
我現在在家不方便找paper, 不過google "spray coating SU-8"出現非常多東西
只是大部分都是spray coating其他東西在SU-8上面，少數幾篇只說Su-8可以用
spin 跟spray的方式coating...並沒有詳述內容。你可以自己再找找
所以
第一，確定你一切製程都是在黃光室裡面做的(因為SU-8是遇光固化的負光阻)，
第二確定你的噴槍噴嘴皆無汙染(會用噴的光阻大部分是要特殊情況的厚正光阻如4620)
這兩點都做好了，SU-8也確定沒過期，之前沒不小心拿出黃光室照到日(紫外)光
若你真的一定要用噴的，可以拿到spin coater上邊轉邊噴
(跟滴光阻一樣只是從滴的變成噴的)，uniformity會比較高。
http://www.microchem.com/products/microspray-video.html
你可以參考這個東西，Microchem 有賣SU-8的 MicroSpray
你若不想買的話可以再看看有沒有辦法自己弄的把SU-8跟aerosol結合起來
看起來蠻有趣的
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◆ From: 67.161.91.236
※ 編輯: SkyLark2001 來自: 67.161.91.236 (03/28 07:15)
1F：→ qscft:謝謝大大，因為我也是google很多次，找不到相關的recipe 03/29 02:06
2F：→ qscft:所以才上來問的，我們的機台是邊轉邊噴的 03/29 02:07
3F：→ qscft:我試過直接滴在上面用旋的，效果比用噴的好非常多 03/29 02:08
4F：→ qscft:看影片，一次噴出來的量好像滿多的，我們機台可能單次沒辦法 03/29 02:09
5F：→ qscft:到這麼多量，這禮拜可能可能去加長噴出的時間吧，謝謝大家 03/29 02:09