作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
标题Re: [问题] SU8用spray coater喷上去
时间Mon Mar 28 06:54:20 2011
※ 引述《qscft (qscft)》之铭言：
: 请问有人有用spray coater喷SU8 2005的经验吗
: 因为使用SU8喷上去後，平整度整个很差呈现颗粒状
: 想请问有人有相关的经验吗
: 因为上网查，大多是用spin的方式
: 谢谢大家
虽然推文里面有提到可能是喷出的时候凝结，但我比较想不透为什麽会这样
我现在在家不方便找paper, 不过google "spray coating SU-8"出现非常多东西
只是大部分都是spray coating其他东西在SU-8上面，少数几篇只说Su-8可以用
spin 跟spray的方式coating...并没有详述内容。你可以自己再找找
所以
第一，确定你一切制程都是在黄光室里面做的(因为SU-8是遇光固化的负光阻)，
第二确定你的喷枪喷嘴皆无污染(会用喷的光阻大部分是要特殊情况的厚正光阻如4620)
这两点都做好了，SU-8也确定没过期，之前没不小心拿出黄光室照到日(紫外)光
若你真的一定要用喷的，可以拿到spin coater上边转边喷
(跟滴光阻一样只是从滴的变成喷的)，uniformity会比较高。
http://www.microchem.com/products/microspray-video.html
你可以参考这个东西，Microchem 有卖SU-8的 MicroSpray
你若不想买的话可以再看看有没有办法自己弄的把SU-8跟aerosol结合起来
看起来蛮有趣的
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 67.161.91.236
※ 编辑: SkyLark2001 来自: 67.161.91.236 (03/28 07:15)
1F：→ qscft:谢谢大大，因为我也是google很多次，找不到相关的recipe 03/29 02:06
2F：→ qscft:所以才上来问的，我们的机台是边转边喷的 03/29 02:07
3F：→ qscft:我试过直接滴在上面用旋的，效果比用喷的好非常多 03/29 02:08
4F：→ qscft:看影片，一次喷出来的量好像满多的，我们机台可能单次没办法 03/29 02:09
5F：→ qscft:到这麽多量，这礼拜可能可能去加长喷出的时间吧，谢谢大家 03/29 02:09