作者qscft (qscft)
看板NEMS
標題[問題] SU8用spray coater噴上去
時間Fri Mar 25 10:50:04 2011
請問有人有用spray coater噴SU8 2005的經驗嗎
因為使用SU8噴上去後，平整度整個很差呈現顆粒狀
想請問有人有相關的經驗嗎
因為上網查，大多是用spin的方式
謝謝大家
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.23.20
1F：推 leox243:應該是在噴灑的過程中就凝結了... 03/25 12:41
2F：推 oreoctrl:用噴的? 就算噴水也是呈現顆粒狀的吧~ 不能用旋塗的嗎? 03/26 01:05
3F：→ oreoctrl:而且2005凝固的速度應該蠻快的~或許真的如1F所說也不一定 03/26 01:06
4F：推 leox243:以前噴過5214和4620，我想SU8只會更慘 03/26 13:45
5F：→ qscft:謝謝各位，是老闆堅持要噴的，搞不懂他堅持啥...哀 03/28 01:57
6F：→ qscft:用旋的結果明明比噴的好，證據拿給他看了，他還堅持... 03/28 01:57
7F：推 Jinuse:目標想噴多厚? 03/28 11:33
8F：→ qscft:大概5um左右 03/29 02:02