作者qscft (qscft)
看板NEMS
标题[问题] SU8用spray coater喷上去
时间Fri Mar 25 10:50:04 2011
请问有人有用spray coater喷SU8 2005的经验吗
因为使用SU8喷上去後，平整度整个很差呈现颗粒状
想请问有人有相关的经验吗
因为上网查，大多是用spin的方式
谢谢大家
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.23.20
1F：推 leox243:应该是在喷洒的过程中就凝结了... 03/25 12:41
2F：推 oreoctrl:用喷的? 就算喷水也是呈现颗粒状的吧~ 不能用旋涂的吗? 03/26 01:05
3F：→ oreoctrl:而且2005凝固的速度应该蛮快的~或许真的如1F所说也不一定 03/26 01:06
4F：推 leox243:以前喷过5214和4620，我想SU8只会更惨 03/26 13:45
5F：→ qscft:谢谢各位，是老板坚持要喷的，搞不懂他坚持啥...哀 03/28 01:57
6F：→ qscft:用旋的结果明明比喷的好，证据拿给他看了，他还坚持... 03/28 01:57
7F：推 Jinuse:目标想喷多厚? 03/28 11:33
8F：→ qscft:大概5um左右 03/29 02:02