作者secret320 (誠..)
看板NEMS
標題[問題] 利用PDMS翻模
時間Sat Feb 26 20:13:41 2011
想請問一下使用PDMS翻模(150nm寬100nm深光柵)翻印不成功
使用喬越的PDMS及矽油
製程是先在培養皿調配A劑:B劑:矽油=10:1:1(稀釋PDMS)
並攪拌,將培養皿放入真空球中,利用機械pump抽至2*10-4torr
持續5mins(確認無氣泡),破真空將PDMS後倒入母模
再利用真空球抽真空約10mins(確認無氣泡)拿去hotplate上加熱
80度1hr,翻印多次都沒成功,有試過在母模上利用UV-OZONE
使之親水,發現無法拔模,不知道大家是怎麼翻印200nm以下的結構呢
謝謝回答的人
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◆ From: 114.40.77.14
※ 編輯: secret320 來自: 114.40.77.14 (02/26 20:13)
※ 編輯: secret320 來自: 114.40.77.14 (02/26 20:14)
1F：推 ybchen:100 nm的線寬抽真空通常無用，需要改為加壓艙用壓力擠入 02/26 22:28
2F：推 quaintness:親水會比較好翻嗎!? 02/27 08:02
3F：推 oreoctrl:可以請問一下您是如何確認無氣泡的呢? 02/27 19:33
4F：→ secret320:眼睛確認無氣泡後,再多抽真空一段時間,是還有氣泡出現 02/27 19:43
5F：推 Jinuse:真的抽太少了 而且可能稀釋過還是很稠 02/27 20:32
6F：推 oreoctrl:翻奈米的結構用眼睛確認也太囧了...多抽點試試吧 02/28 11:48
7F：推 zaidan:光是200um線寬 都抽上40min~2hr 澆鑄灌模前加介面疏水劑 03/03 21:17
8F：→ zaidan:進烘箱80度c 起碼2hr再緩慢回到室溫 nm等級的真要請教S大 03/03 21:18
9F：推 xneptunex:正己烷或環己烷稀釋PDMS，可以稀的跟水一樣，或許會有 03/04 01:20
10F：→ xneptunex:幫助。 03/04 01:21
11F：推 Jeffch:500nm以下再怎麼抽或壓都沒用的，要通silane讓表面極為疏水 03/18 18:54
12F：→ Jeffch:PDMS會自己"吸"上去，甚至有人做過吸上去速率的研究 03/18 18:55
※ 編輯: secret320 來自: 140.116.81.57 (03/31 14:05)