作者secret320 (诚..)
看板NEMS
标题[问题] 利用PDMS翻模
时间Sat Feb 26 20:13:41 2011
想请问一下使用PDMS翻模(150nm宽100nm深光栅)翻印不成功
使用乔越的PDMS及矽油
制程是先在培养皿调配A剂:B剂:矽油=10:1:1(稀释PDMS)
并搅拌,将培养皿放入真空球中,利用机械pump抽至2*10-4torr
持续5mins(确认无气泡),破真空将PDMS後倒入母模
再利用真空球抽真空约10mins(确认无气泡)拿去hotplate上加热
80度1hr,翻印多次都没成功,有试过在母模上利用UV-OZONE
使之亲水,发现无法拔模,不知道大家是怎麽翻印200nm以下的结构呢
谢谢回答的人
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◆ From: 114.40.77.14
※ 编辑: secret320 来自: 114.40.77.14 (02/26 20:13)
※ 编辑: secret320 来自: 114.40.77.14 (02/26 20:14)
1F：推 ybchen:100 nm的线宽抽真空通常无用，需要改为加压舱用压力挤入 02/26 22:28
2F：推 quaintness:亲水会比较好翻吗!? 02/27 08:02
3F：推 oreoctrl:可以请问一下您是如何确认无气泡的呢? 02/27 19:33
4F：→ secret320:眼睛确认无气泡後,再多抽真空一段时间,是还有气泡出现 02/27 19:43
5F：推 Jinuse:真的抽太少了 而且可能稀释过还是很稠 02/27 20:32
6F：推 oreoctrl:翻奈米的结构用眼睛确认也太囧了...多抽点试试吧 02/28 11:48
7F：推 zaidan:光是200um线宽 都抽上40min~2hr 浇铸灌模前加介面疏水剂 03/03 21:17
8F：→ zaidan:进烘箱80度c 起码2hr再缓慢回到室温 nm等级的真要请教S大 03/03 21:18
9F：推 xneptunex:正己烷或环己烷稀释PDMS，可以稀的跟水一样，或许会有 03/04 01:20
10F：→ xneptunex:帮助。 03/04 01:21
11F：推 Jeffch:500nm以下再怎麽抽或压都没用的，要通silane让表面极为疏水 03/18 18:54
12F：→ Jeffch:PDMS会自己"吸"上去，甚至有人做过吸上去速率的研究 03/18 18:55
※ 编辑: secret320 来自: 140.116.81.57 (03/31 14:05)