作者futurekeeper (放手去做~)
看板NEMS
標題[問題] 電子束蒸鍍--坩鍋選擇
時間Sat Jan 15 17:35:51 2011
前輩們，目前小弟使用電子束蒸鍍方式蒸鍍氧化鋁薄膜，source為氧化鋁顆粒，
坩鍋為石墨坩鍋，氧化鋁與石墨的熔點分別是2000與3600度，找不到氧化鋁與碳三相
圖。
目前發現蒸鍍後，氧化鋁接近坩鍋的部分有變黑的情況，而坩鍋上有氧化鋁顆粒的顆粒
形狀，造成每次鍍膜後，皆要更換氧化鋁SOURCE，因為氧化鋁有汙染的疑慮。
請問，蒸鍍氧化鋁需要怎樣的坩鍋？謝謝。
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◆ From: 112.105.185.237
1F：推 xcent:我記得不能用石墨，忘了是用哪種，後來都用鉬，但鉬也不太優 01/16 01:48
2F：推 Keelungman:用鎢才是王道 01/16 03:31
3F：推 tussh:用鎢(W)或是鉬(Mo)坩鍋 5cc的大概2000出頭 01/16 04:42
4F：→ futurekeeper:謝謝 01/20 23:13