作者futurekeeper (放手去做~)
看板NEMS
标题[问题] 电子束蒸镀--坩锅选择
时间Sat Jan 15 17:35:51 2011
前辈们，目前小弟使用电子束蒸镀方式蒸镀氧化铝薄膜，source为氧化铝颗粒，
坩锅为石墨坩锅，氧化铝与石墨的熔点分别是2000与3600度，找不到氧化铝与碳三相
图。
目前发现蒸镀後，氧化铝接近坩锅的部分有变黑的情况，而坩锅上有氧化铝颗粒的颗粒
形状，造成每次镀膜後，皆要更换氧化铝SOURCE，因为氧化铝有污染的疑虑。
请问，蒸镀氧化铝需要怎样的坩锅？谢谢。
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◆ From: 112.105.185.237
1F：推 xcent:我记得不能用石墨，忘了是用哪种，後来都用钼，但钼也不太优 01/16 01:48
2F：推 Keelungman:用钨才是王道 01/16 03:31
3F：推 tussh:用钨(W)或是钼(Mo)坩锅 5cc的大概2000出头 01/16 04:42
4F：→ futurekeeper:谢谢 01/20 23:13