作者Treant (紅影)
看板NEMS
標題[問題] bonding問題
時間Sat Dec 4 01:39:24 2010
最近有一些設計想做不過卡在製程
非常苦惱
1. 兩片玻璃上塗佈JSR THB-151N光阻後且定義完畢
請問如何將此兩片玻璃光阻對光阻bonding?
(也就是THB-151N bonding THB-151N)
且不損壞其上的流道結構
2. 已定義完的ITO電極玻璃和已蝕刻出流道的Slide玻璃如何bonding?
用熱壓法之類的會不會損害到ITO電極?
卡在製程上，希望有人能提示一下
非常感謝!!
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