作者Treant (红影)
看板NEMS
标题[问题] bonding问题
时间Sat Dec 4 01:39:24 2010
最近有一些设计想做不过卡在制程
非常苦恼
1. 两片玻璃上涂布JSR THB-151N光阻後且定义完毕
请问如何将此两片玻璃光阻对光阻bonding?
(也就是THB-151N bonding THB-151N)
且不损坏其上的流道结构
2. 已定义完的ITO电极玻璃和已蚀刻出流道的Slide玻璃如何bonding?
用热压法之类的会不会损害到ITO电极?
卡在制程上，希望有人能提示一下
非常感谢!!
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