作者achieveman (暫無)
看板NEMS
標題[問題] 請教一下矽濕蝕刻
時間Sun Oct 24 07:21:11 2010
我想詢問一下版上有沒有人用KOH蝕刻矽,
然後用金屬當擋罩,如Au/Cr 或是 Ti...等?
受限於設備和時間,沒辦法送代工做擋罩.而且要蝕刻500um...(太深了)
希望能有人有這樣的經驗,謝謝!!
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◆ From: 140.112.38.245
1F：→ xcent:硝酸+HF+水也可以蝕刻矽，比較快一點，但500um也太深了@@" 10/24 13:47
2F：推 woofers:用PECVD 的SiN當mask呢 10/24 14:18
3F：推 leox243:用溼蝕刻吃500um......你有沒有考慮到undercut的問題 10/24 15:18
4F：推 tussh:金屬應該檔不住KOH 10/24 17:37
5F：推 spp100:Si3N4 擋 ok 可以吃穿 10/24 17:58
6F：→ achieveman:如果說用HF+CH3COOH 金屬有可能擋得住嗎?它們都是弱酸 10/24 23:04
7F：推 s75287:這不是小宗宗嗎?! 10/25 08:02
8F：推 tussh:不過你是想吃整片Si-sub 還是只有吃某些地方?! 這也有差 10/25 13:43
9F：→ achieveman:只吃圖案部分,面積大約佔10%左右... 10/28 22:51
10F：推 kmx:ICP直接轟到底啊!!!真男人!!! 11/04 13:58
11F：推 s75287:他們實驗室應該沒有這本錢 直接轟到底.... 11/12 22:16
12F：→ humorpuppy:TMAH 以 SiO2 當作mask 05/09 13:32