作者achieveman (暂无)
看板NEMS
标题[问题] 请教一下矽湿蚀刻
时间Sun Oct 24 07:21:11 2010
我想询问一下版上有没有人用KOH蚀刻矽,
然後用金属当挡罩,如Au/Cr 或是 Ti...等?
受限於设备和时间,没办法送代工做挡罩.而且要蚀刻500um...(太深了)
希望能有人有这样的经验,谢谢!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.38.245
1F：→ xcent:硝酸+HF+水也可以蚀刻矽，比较快一点，但500um也太深了@@" 10/24 13:47
2F：推 woofers:用PECVD 的SiN当mask呢 10/24 14:18
3F：推 leox243:用湿蚀刻吃500um......你有没有考虑到undercut的问题 10/24 15:18
4F：推 tussh:金属应该档不住KOH 10/24 17:37
5F：推 spp100:Si3N4 挡 ok 可以吃穿 10/24 17:58
6F：→ achieveman:如果说用HF+CH3COOH 金属有可能挡得住吗?它们都是弱酸 10/24 23:04
7F：推 s75287:这不是小宗宗吗?! 10/25 08:02
8F：推 tussh:不过你是想吃整片Si-sub 还是只有吃某些地方?! 这也有差 10/25 13:43
9F：→ achieveman:只吃图案部分,面积大约占10%左右... 10/28 22:51
10F：推 kmx:ICP直接轰到底啊!!!真男人!!! 11/04 13:58
11F：推 s75287:他们实验室应该没有这本钱 直接轰到底.... 11/12 22:16
12F：→ humorpuppy:TMAH 以 SiO2 当作mask 05/09 13:32