作者wang0719 (麥子)
看板NEMS
標題[問題] HNO3的蝕刻阻擋層
時間Sat Jul 31 17:58:19 2010
如題
小弟我現在要蝕刻一層氧化物薄膜簡稱X
結構是X/pt/TiN/Ti/SiO2/Si
我有試過用PR當作阻擋層(有硬烤)
但是蝕刻過程中PR就脫落了!
想請問各位先進~有什麼其他方法可以當作HNO3的阻擋層呢??
謝謝大家
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.42.109.70
1F：推 Jinuse:你用哪一種PR? 07/31 19:20
2F：→ LittleHwa:金,不過要是你的PR是整片起來，可能是你的氧化層很薄， 08/06 08:24
3F：→ LittleHwa:HNO3可能多多少少開始吃你的Pt了，不然就是你上PR的處理 08/06 08:25
4F：→ LittleHwa:不好. 08/06 08:25
5F：→ LittleHwa:(附著性不佳) 08/06 08:26