作者wang0719 (麦子)
看板NEMS
标题[问题] HNO3的蚀刻阻挡层
时间Sat Jul 31 17:58:19 2010
如题
小弟我现在要蚀刻一层氧化物薄膜简称X
结构是X/pt/TiN/Ti/SiO2/Si
我有试过用PR当作阻挡层(有硬烤)
但是蚀刻过程中PR就脱落了!
想请问各位先进~有什麽其他方法可以当作HNO3的阻挡层呢??
谢谢大家
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◆ From: 114.42.109.70
1F：推 Jinuse:你用哪一种PR? 07/31 19:20
2F：→ LittleHwa:金,不过要是你的PR是整片起来，可能是你的氧化层很薄， 08/06 08:24
3F：→ LittleHwa:HNO3可能多多少少开始吃你的Pt了，不然就是你上PR的处理 08/06 08:25
4F：→ LittleHwa:不好. 08/06 08:25
5F：→ LittleHwa:(附着性不佳) 08/06 08:26