作者allencce ( )
看板NEMS
標題[問題] O2 Plasma
時間Sat Jul 31 13:05:30 2010
各位版友大家好
我們實驗室買了一台plasma cleaner
原廠提供是用空氣來做電漿氣體
由於實驗需求想要改成O2 plasma
但卻發生了一些問題
氧電漿點不起來(看不到輝光)
由於機器是提供29W的RF POWER(本機型最大的功率值)
真空約抽至1*10^-1左右
不知道是我們真空抽不夠還是功率太小
想麻煩有經驗的人提供一下意見 謝謝
補敘述操作流程：
1.抽真空至1*10^-1 torr
2.通入純氧沖腔體約10秒(壓力約在1.2 torr)
3.停止純氧供應，抽真空至1*10^-1 torr
4.通入純氧，控制壓力在5~8*10^-1 torr
5.開啟RF Power
6.關閉RF Power
7.破真空
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.128.194.201
1F：→ honna:壓力OK，不過這種問題應該先問廠商吧 = = 07/31 13:38
2F：→ allencce:廠商：這可能要請你們自己抓條件...= = 07/31 13:49
※ 編輯: allencce 來自: 140.128.194.201 (07/31 14:03)
3F：→ honna:等壓力差不多以後，先開power約30秒再設強度(low/mid/high) 07/31 21:42
4F：→ honna:之前發現這樣的方式plasma比較容易點起來 07/31 21:44
5F：→ honna:有點像"暖機"的感覺，當然，壓力越低的話也速度會較快 07/31 21:45
6F：推 boster:有可能你的反射功率過高~所以電漿打不起來 08/01 00:06