作者allencce ( )
看板NEMS
标题[问题] O2 Plasma
时间Sat Jul 31 13:05:30 2010
各位版友大家好
我们实验室买了一台plasma cleaner
原厂提供是用空气来做电浆气体
由於实验需求想要改成O2 plasma
但却发生了一些问题
氧电浆点不起来(看不到辉光)
由於机器是提供29W的RF POWER(本机型最大的功率值)
真空约抽至1*10^-1左右
不知道是我们真空抽不够还是功率太小
想麻烦有经验的人提供一下意见 谢谢
补叙述操作流程：
1.抽真空至1*10^-1 torr
2.通入纯氧冲腔体约10秒(压力约在1.2 torr)
3.停止纯氧供应，抽真空至1*10^-1 torr
4.通入纯氧，控制压力在5~8*10^-1 torr
5.开启RF Power
6.关闭RF Power
7.破真空
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.128.194.201
1F：→ honna:压力OK，不过这种问题应该先问厂商吧 = = 07/31 13:38
2F：→ allencce:厂商：这可能要请你们自己抓条件...= = 07/31 13:49
※ 编辑: allencce 来自: 140.128.194.201 (07/31 14:03)
3F：→ honna:等压力差不多以後，先开power约30秒再设强度(low/mid/high) 07/31 21:42
4F：→ honna:之前发现这样的方式plasma比较容易点起来 07/31 21:44
5F：→ honna:有点像"暖机"的感觉，当然，压力越低的话也速度会较快 07/31 21:45
6F：推 boster:有可能你的反射功率过高~所以电浆打不起来 08/01 00:06