作者eckermann (大三)
看板NEMS
標題[問題] 自己做光罩?
時間Tue Jun 22 08:30:55 2010
各位先進前輩大家好
我們老師最近叫我自己做光罩...
他的構想是這樣...
自己準備1mm厚的石英
鍍上一層鉻之後
再塗布上光阻
經過曝光顯影後
把原來光罩上的 pattern轉移到光阻上
然後再用鉻蝕刻液
把鉻蝕刻掉
然後再去除掉光阻
這樣子...
我是覺得有點強人所難了..
不過他說做完才能畢業= =
各位先進覺得這樣可行嗎?
請問有人做過相同的事情
或是有甚麼建議嗎?
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 134.208.23.43
1F：推 kuany: 出錢是老大 06/22 09:50
2F：推 rainstonein:那你曝光的時候不就需要一個光罩?~還是說是用ebeam? 06/22 13:25
3F：推 paullai:這是為了讓鉻有pattern吧? 06/22 13:38
4F：→ Keelungman:這算是複製光罩吧? 如果只是做個堪用的交差也不算難 06/22 13:44
5F：推 quaintness:打電話訂石英,e-gun鍍Cr兩小時，黃光兩小時，蝕刻清洗 06/22 14:21
6F：→ quaintness:30分鐘 ... 有沒有一個下午就畢業的八卦啊 ○rz 06/22 14:21
7F：推 Jinuse:挺簡單的work 06/22 15:37
8F：推 oreoctrl:解析度多少? 但設備都齊全的話 真的蠻簡單的阿! 06/22 17:50
9F：推 leox243:其實花個七千塊就...... 06/22 20:52
10F：→ leox243:不過這樣複製有意義嗎? 06/22 20:53
11F：推 jamesII:複製光罩的話 有賣空白光罩 (玻璃鍍Cr+PR 軟烤) 06/22 21:25
12F：推 jamesII:單片價格應該比你自己來便宜 06/22 21:28
13F：推 ptta:你一個下午就搞定的話 就有更難的來了 06/23 22:50
14F：推 jam46:甩光阻的時候要小心點...玻璃是方的，重心要抓準一點... 06/25 01:01
15F：→ jam46:製程不難，除非要做到1~2um，或是幾nm的話...那就另當別論了 06/25 01:02
16F：推 peter33:看來你在做鉻蝕刻，光阻周圍底下的鉻多多少少會被蝕刻掉 07/04 13:24