作者eckermann (大三)
看板NEMS
标题[问题] 自己做光罩?
时间Tue Jun 22 08:30:55 2010
各位先进前辈大家好
我们老师最近叫我自己做光罩...
他的构想是这样...
自己准备1mm厚的石英
镀上一层铬之後
再涂布上光阻
经过曝光显影後
把原来光罩上的 pattern转移到光阻上
然後再用铬蚀刻液
把铬蚀刻掉
然後再去除掉光阻
这样子...
我是觉得有点强人所难了..
不过他说做完才能毕业= =
各位先进觉得这样可行吗?
请问有人做过相同的事情
或是有甚麽建议吗?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 134.208.23.43
1F：推 kuany: 出钱是老大 06/22 09:50
2F：推 rainstonein:那你曝光的时候不就需要一个光罩?~还是说是用ebeam? 06/22 13:25
3F：推 paullai:这是为了让铬有pattern吧? 06/22 13:38
4F：→ Keelungman:这算是复制光罩吧? 如果只是做个堪用的交差也不算难 06/22 13:44
5F：推 quaintness:打电话订石英,e-gun镀Cr两小时，黄光两小时，蚀刻清洗 06/22 14:21
6F：→ quaintness:30分钟 ... 有没有一个下午就毕业的八卦啊 ○rz 06/22 14:21
7F：推 Jinuse:挺简单的work 06/22 15:37
8F：推 oreoctrl:解析度多少? 但设备都齐全的话 真的蛮简单的阿! 06/22 17:50
9F：推 leox243:其实花个七千块就...... 06/22 20:52
10F：→ leox243:不过这样复制有意义吗? 06/22 20:53
11F：推 jamesII:复制光罩的话 有卖空白光罩 (玻璃镀Cr+PR 软烤) 06/22 21:25
12F：推 jamesII:单片价格应该比你自己来便宜 06/22 21:28
13F：推 ptta:你一个下午就搞定的话 就有更难的来了 06/23 22:50
14F：推 jam46:甩光阻的时候要小心点...玻璃是方的，重心要抓准一点... 06/25 01:01
15F：→ jam46:制程不难，除非要做到1~2um，或是几nm的话...那就另当别论了 06/25 01:02
16F：推 peter33:看来你在做铬蚀刻，光阻周围底下的铬多多少少会被蚀刻掉 07/04 13:24