作者wang0719 (麥子)
看板NEMS
標題[問題] 兩層光阻的問題
時間Thu Jun 17 15:33:59 2010
as title
如果我要在SiO2/Si的結構上
連續旋上AZ5214的光阻兩層
在第一層光阻旋完之後有沒有甚麼訣竅或問題需要注意
可以使得光阻可以順利旋上去
感謝大大!
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 210.240.245.64
1F：推 paullai:要把第一層先硬烤？ 06/17 23:51
2F：推 s75287:保羅不對吧 如果硬考表是你要先pattern 那就要對位... 06/18 21:47
3F：→ s75287:通常直接接著塗佈第二層就可以了.... 06/18 21:47
4F：推 oreoctrl:理論上不是要先烤再旋嗎? 樓上有試過不烤的製程? 06/19 01:27
5F：推 quaintness:要先軟烤... 06/19 07:44
6F：→ wang0719:XD各位大大說的我都會先試試看的!謝謝 06/21 10:24
7F：推 s75287:軟烤要... 06/21 23:59
8F：推 paullai:囧 我當時腦筋不清打錯了啦 對不起QQ 是先軟烤 06/22 13:44
9F：→ paullai:不過我不知道AZ5214是否可以支撐直接第二層 @@ 06/22 13:44
10F：→ Jinuse:之前我作過AZ P4620 上第二層的時候 表面的附著性很差 06/22 15:38
11F：→ Jinuse:我在第一層上面先上一層HMDS以後就附著得很好了 供你參考 06/22 15:39
12F：推 tussh:HMDS狠毒喔...少吸少吸 06/22 19:36
13F：→ leox243:黃光區還是多戴濾毒面罩為上= =" 06/22 20:52