作者wang0719 (麦子)
看板NEMS
标题[问题] 两层光阻的问题
时间Thu Jun 17 15:33:59 2010
as title
如果我要在SiO2/Si的结构上
连续旋上AZ5214的光阻两层
在第一层光阻旋完之後有没有甚麽诀窍或问题需要注意
可以使得光阻可以顺利旋上去
感谢大大!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 210.240.245.64
1F：推 paullai:要把第一层先硬烤？ 06/17 23:51
2F：推 s75287:保罗不对吧 如果硬考表是你要先pattern 那就要对位... 06/18 21:47
3F：→ s75287:通常直接接着涂布第二层就可以了.... 06/18 21:47
4F：推 oreoctrl:理论上不是要先烤再旋吗? 楼上有试过不烤的制程? 06/19 01:27
5F：推 quaintness:要先软烤... 06/19 07:44
6F：→ wang0719:XD各位大大说的我都会先试试看的!谢谢 06/21 10:24
7F：推 s75287:软烤要... 06/21 23:59
8F：推 paullai:囧 我当时脑筋不清打错了啦 对不起QQ 是先软烤 06/22 13:44
9F：→ paullai:不过我不知道AZ5214是否可以支撑直接第二层 @@ 06/22 13:44
10F：→ Jinuse:之前我作过AZ P4620 上第二层的时候 表面的附着性很差 06/22 15:38
11F：→ Jinuse:我在第一层上面先上一层HMDS以後就附着得很好了 供你参考 06/22 15:39
12F：推 tussh:HMDS狠毒喔...少吸少吸 06/22 19:36
13F：→ leox243:黄光区还是多戴滤毒面罩为上= =" 06/22 20:52