作者magian (. Y .)
看板NEMS
標題[問題] 關於PDMS與玻璃的接合
時間Fri Apr 30 20:49:10 2010
想請教各位MEMS的高手們~
如果想用uv/ozone(臭氧清洗機)對PDMS做表面處理，之後
使其可以與玻璃做接合，請問相關的製作流程步驟有沒有
文獻可以提供參考，或是經驗分享? 感謝!!!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.167.187.163
1F：推 kuany:你Google了嗎? 04/30 21:00
2F：推 s75287:這...... 04/30 21:04
3F：→ magian:不好意思 我有找過了!! 只是做不出來 所以想參考別參數~ 05/01 12:54
4F：→ Looming:可以參考我的論文 保證做不出來XD 05/01 17:50
5F：推 leox243:我看我同學做，用氧電漿打玻璃，PDMS直接就沾上去了= = 05/01 21:04
6F：→ leox243:並沒有甚麼特殊的步驟，主要接面都要清潔，然後別有氣泡 05/01 21:04
7F：推 donkeytsai:樓上說的氣泡是指兩個固體介面接合時的氣泡嗎? 05/04 11:09
8F：推 oreoctrl:.............理論上不是都不應該有氣泡嗎...PDMS & 接面 05/04 12:38
9F：推 leox243:是固體接合時的氣泡，理論上不會有，不過就像你貼保護貼 05/07 22:00
10F：→ leox243:這樣說八樓可以了解嗎? 05/07 22:00
11F：推 oreoctrl:樓上...是指我嗎(．＿．?) 05/09 13:02