作者magian (. Y .)
看板NEMS
标题[问题] 关於PDMS与玻璃的接合
时间Fri Apr 30 20:49:10 2010
想请教各位MEMS的高手们~
如果想用uv/ozone(臭氧清洗机)对PDMS做表面处理，之後
使其可以与玻璃做接合，请问相关的制作流程步骤有没有
文献可以提供参考，或是经验分享? 感谢!!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 218.167.187.163
1F：推 kuany:你Google了吗? 04/30 21:00
2F：推 s75287:这...... 04/30 21:04
3F：→ magian:不好意思 我有找过了!! 只是做不出来 所以想参考别参数~ 05/01 12:54
4F：→ Looming:可以参考我的论文 保证做不出来XD 05/01 17:50
5F：推 leox243:我看我同学做，用氧电浆打玻璃，PDMS直接就沾上去了= = 05/01 21:04
6F：→ leox243:并没有甚麽特殊的步骤，主要接面都要清洁，然後别有气泡 05/01 21:04
7F：推 donkeytsai:楼上说的气泡是指两个固体介面接合时的气泡吗? 05/04 11:09
8F：推 oreoctrl:.............理论上不是都不应该有气泡吗...PDMS & 接面 05/04 12:38
9F：推 leox243:是固体接合时的气泡，理论上不会有，不过就像你贴保护贴 05/07 22:00
10F：→ leox243:这样说八楼可以了解吗? 05/07 22:00
11F：推 oreoctrl:楼上...是指我吗(．＿．?) 05/09 13:02