作者splendiddraw (左手香)
看板NEMS
標題[問題] 請問關於紫外光固化奈米壓印製程問題
時間Sat Mar 27 14:11:11 2010
各位，大家好，小弟第一次發問，請不吝賜教...
如標題，這是我在做紫外光固化奈米壓印 (UV-NIL) 製程遇到的困難處，首先我先描素
我的製程 :
1. mold : h-PDMS
2. UV resin : benzyl methacrylate + M-PDMS + 2-hydroxyethyl + Irgacure 819
3. 將自行調配好的 UV resin 滴在 Silicon 基板上，然後把 h-PDMS mold 覆蓋上去，
再拿到壓印機上進行 curing，且有施加壓力 (有試過 0.1 bar、1 bar、3 bar)
問題 :
在任何施加壓力之下，都會出現 PATTERN 複製不完全，或是中間會看到一個大氣泡的現
象
真希望救星出現，給我建議吧
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.205.190
1F：推 NCC1701:壓印圖形? 03/27 22:25
2F：→ jamesII:像蓋波片一樣 UV膠滴在PDMS MOLD上 然後拿WAFER斜斜的蓋上 03/28 00:26
3F：→ jamesII:可以避免氣泡產生 03/28 00:26
4F：→ splendiddraw:回NCC大，壓印圖形使用4um,2um,1um,0.5um 等線寬 03/28 13:20
5F：→ splendiddraw:回jame大，感謝。不過我google過一些文章，似乎氣泡 03/28 13:23
6F：→ splendiddraw:本身就存在UV膠液體中?? 03/28 13:24
7F：推 wanttu:推J大斜放比較不會 另外在你倒UV膠到基材上也可能會有氣泡 03/28 23:53
8F：→ wanttu:一有氣泡的話 你要想辦法弄破或者清除掉 :) 03/28 23:54
9F：推 fungh:UV膠調好後curing前先放在密閉容器中，用pump把氣泡抽掉 03/30 00:17
10F：→ splendiddraw:小小的阻劑 學問真大 03/31 09:26