作者splendiddraw (左手香)
看板NEMS
标题[问题] 请问关於紫外光固化奈米压印制程问题
时间Sat Mar 27 14:11:11 2010
各位，大家好，小弟第一次发问，请不吝赐教...
如标题，这是我在做紫外光固化奈米压印 (UV-NIL) 制程遇到的困难处，首先我先描素
我的制程 :
1. mold : h-PDMS
2. UV resin : benzyl methacrylate + M-PDMS + 2-hydroxyethyl + Irgacure 819
3. 将自行调配好的 UV resin 滴在 Silicon 基板上，然後把 h-PDMS mold 覆盖上去，
再拿到压印机上进行 curing，且有施加压力 (有试过 0.1 bar、1 bar、3 bar)
问题 :
在任何施加压力之下，都会出现 PATTERN 复制不完全，或是中间会看到一个大气泡的现
象
真希望救星出现，给我建议吧
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.205.190
1F：推 NCC1701:压印图形? 03/27 22:25
2F：→ jamesII:像盖波片一样 UV胶滴在PDMS MOLD上 然後拿WAFER斜斜的盖上 03/28 00:26
3F：→ jamesII:可以避免气泡产生 03/28 00:26
4F：→ splendiddraw:回NCC大，压印图形使用4um,2um,1um,0.5um 等线宽 03/28 13:20
5F：→ splendiddraw:回jame大，感谢。不过我google过一些文章，似乎气泡 03/28 13:23
6F：→ splendiddraw:本身就存在UV胶液体中?? 03/28 13:24
7F：推 wanttu:推J大斜放比较不会 另外在你倒UV胶到基材上也可能会有气泡 03/28 23:53
8F：→ wanttu:一有气泡的话 你要想办法弄破或者清除掉 :) 03/28 23:54
9F：推 fungh:UV胶调好後curing前先放在密闭容器中，用pump把气泡抽掉 03/30 00:17
10F：→ splendiddraw:小小的阻剂 学问真大 03/31 09:26