作者newbrain (matlab=中學數學)
看板NEMS
標題[問題] 請問除了台大北微跟新竹工研院還有哪有ICP-RIE?
時間Fri Mar 26 10:13:38 2010
如題
想知道哪邊還有ICP-RIE可以使用或代工
謝謝!
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.33.149
1F：→ leox243:NDL 03/26 10:40
2F：推 kuanun:材料呢? 假如是 SiNx, GaAs or InP 交大奈米科技中心有 03/26 10:47
3F：→ newbrain:Si 基板 SiO2擋罩 謝謝 03/26 12:55
4F：推 tzjwinfcha:順便問一下，那有可以進金屬的RIE???感謝 03/26 15:16
5F：→ kuanun:交大奈米中心有原PO有的，樓上的可能偷進比較有可能 XD 03/26 23:29
6F：推 cbshu:科儀中心 03/27 19:47
7F：推 Ice98:推儀科中心 03/28 00:36