作者newbrain (matlab=中学数学)
看板NEMS
标题[问题] 请问除了台大北微跟新竹工研院还有哪有ICP-RIE?
时间Fri Mar 26 10:13:38 2010
如题
想知道哪边还有ICP-RIE可以使用或代工
谢谢!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.33.149
1F：→ leox243:NDL 03/26 10:40
2F：推 kuanun:材料呢? 假如是 SiNx, GaAs or InP 交大奈米科技中心有 03/26 10:47
3F：→ newbrain:Si 基板 SiO2挡罩 谢谢 03/26 12:55
4F：推 tzjwinfcha:顺便问一下，那有可以进金属的RIE???感谢 03/26 15:16
5F：→ kuanun:交大奈米中心有原PO有的，楼上的可能偷进比较有可能 XD 03/26 23:29
6F：推 cbshu:科仪中心 03/27 19:47
7F：推 Ice98:推仪科中心 03/28 00:36