作者edcu (沒有心的心)
看板NEMS
標題[問題] SU8-1075使用問題
時間Wed Mar 24 11:39:19 2010
實驗室現在使用的是SU-8 1075 ，因為製程的關係所以必須要在兩層光阻中間放一個
東西，再經過曝光顯影後會變成一個懸空的結構，那目前的方式是先旋一層100 um的
高度，然後放置我的物體，再旋200 um 把物體包覆住，可是現在遇到一個問題就是
第二層光阻包覆物體後曝光完做曝後烤動作時，SU-8 1075光阻會變軟，導致我的物體
會往下沉到底，可是我目前做的印象中，光阻經過曝光後不是應該會硬化嗎，怎麼會
在做曝後烤動作時光阻還會軟化 ? 不知道板上的高手能不能幫我想想問題點在那裡或
是有其他的方式能使用的 ?? 請各位幫幫忙，謝謝~~~~~~~
PS 因為以前學長用的是SU8-100，不會出現這樣的問題，可是我們換成SU-8 1075後就
開始有這樣的情況發生，所以才上來問看看是那裡出了問題
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.121.125.94
1F：推 Jinuse:問題可能是出在第一層的材料沒有經過硬烤 要烤過才會是硬的 03/24 14:53
2F：→ Jinuse:你的製程沒有寫得很清楚所以很難幫得上忙 03/24 14:53
3F：→ Jinuse:還有我在網站上只看到2000跟3000系列的 你的1075是哪來的呀 03/24 14:54
4F：推 Jinuse:是 GM1075嗎 03/24 15:09
5F：→ edcu:嗯~GM1075 03/24 15:38
6F：→ edcu:如果第一層就硬烤了~我之後曝光還有辦法顯影嗎? 03/24 15:41
7F：推 NTHUOnline:曝光前的叫 preback (預烤/軟烤) 03/24 18:03
8F：→ NTHUOnline:硬烤應該是曝光完烤. 軟烤完可曝光沒問題... 03/24 18:03
9F：推 wanttu:你第二層放的中心是不是很軟? 類似薄膜? 03/24 22:00
10F：→ fotoa:可以去查有關雙層光阻的製程 簡單來說 軟烤的總時間不變 03/25 11:13
11F：→ fotoa:大致上3:7 這樣分配給第一層跟第二層就可以了 03/25 11:14
12F：→ magicmike:我猜可能SU8是負光阻 中間加的物件也變成遮罩 03/25 22:22
13F：→ magicmike:所以經過曝光第一層的光阻算是沒有照光聚合 還是軟的 03/25 22:23
14F：→ magicmike:可以試著第一層先曝 硬烤完再做第二層 03/25 22:24
15F：→ magicmike:補充一下 我是說中間物體的下方光阻 03/25 22:31
16F：→ edcu:多謝各位的意見耶~我先試著做看看~有問題再跟大家請教~謝謝 03/26 01:21