作者edcu (没有心的心)
看板NEMS
标题[问题] SU8-1075使用问题
时间Wed Mar 24 11:39:19 2010
实验室现在使用的是SU-8 1075 ，因为制程的关系所以必须要在两层光阻中间放一个
东西，再经过曝光显影後会变成一个悬空的结构，那目前的方式是先旋一层100 um的
高度，然後放置我的物体，再旋200 um 把物体包覆住，可是现在遇到一个问题就是
第二层光阻包覆物体後曝光完做曝後烤动作时，SU-8 1075光阻会变软，导致我的物体
会往下沉到底，可是我目前做的印象中，光阻经过曝光後不是应该会硬化吗，怎麽会
在做曝後烤动作时光阻还会软化 ? 不知道板上的高手能不能帮我想想问题点在那里或
是有其他的方式能使用的 ?? 请各位帮帮忙，谢谢~~~~~~~
PS 因为以前学长用的是SU8-100，不会出现这样的问题，可是我们换成SU-8 1075後就
开始有这样的情况发生，所以才上来问看看是那里出了问题
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.121.125.94
1F：推 Jinuse:问题可能是出在第一层的材料没有经过硬烤 要烤过才会是硬的 03/24 14:53
2F：→ Jinuse:你的制程没有写得很清楚所以很难帮得上忙 03/24 14:53
3F：→ Jinuse:还有我在网站上只看到2000跟3000系列的 你的1075是哪来的呀 03/24 14:54
4F：推 Jinuse:是 GM1075吗 03/24 15:09
5F：→ edcu:嗯~GM1075 03/24 15:38
6F：→ edcu:如果第一层就硬烤了~我之後曝光还有办法显影吗? 03/24 15:41
7F：推 NTHUOnline:曝光前的叫 preback (预烤/软烤) 03/24 18:03
8F：→ NTHUOnline:硬烤应该是曝光完烤. 软烤完可曝光没问题... 03/24 18:03
9F：推 wanttu:你第二层放的中心是不是很软? 类似薄膜? 03/24 22:00
10F：→ fotoa:可以去查有关双层光阻的制程 简单来说 软烤的总时间不变 03/25 11:13
11F：→ fotoa:大致上3:7 这样分配给第一层跟第二层就可以了 03/25 11:14
12F：→ magicmike:我猜可能SU8是负光阻 中间加的物件也变成遮罩 03/25 22:22
13F：→ magicmike:所以经过曝光第一层的光阻算是没有照光聚合 还是软的 03/25 22:23
14F：→ magicmike:可以试着第一层先曝 硬烤完再做第二层 03/25 22:24
15F：→ magicmike:补充一下 我是说中间物体的下方光阻 03/25 22:31
16F：→ edcu:多谢各位的意见耶~我先试着做看看~有问题再跟大家请教~谢谢 03/26 01:21